磁鋼是磁控濺射組件的關鍵零部件,磁鋼的磁路排布與磁場一致性直接影響最終的濺射效果。由于工作過程電子輝光放電發(fā)熱,磁鋼還需要具備一定的耐溫性能。
磁控濺射組件的機加工件一般為底座、極靴、罩殼、連接件等部分,材質為低碳鋼、不銹鋼、銅、鋁、尼龍等,水冷環(huán)境條件下,鐵質部件還需做電鍍防護處理。
密封件起著密閉組件腔體,防止漏氣漏水的重要作用。我們通常選用進口優(yōu)質工業(yè)用密封圈,可長期穩(wěn)定使用。
緊固件為各類型螺絲螺母、定位銷、墊片、擋圈等,根據裝配需要會作表面硬化處理。
按照標準作業(yè)流程,將各個零部件組裝成為整體,之后根據使用工況要求,進行外觀、表面磁場、氦檢、水壓、絕緣等多種檢測。
我們可按照客戶對磁控濺射組件產品的要求,從咨詢,設計,打樣到批量生產,提供全流程定制化服務。